【企业专栏】让“中国靶材”点亮炫彩世界 ——聚焦解决“卡脖子”难题的ITO靶材制造企业：广西晶联光电材料有限责任公司

不导电也不发光的玻璃，被靶材镀上一层薄膜，便可幻化出丰富多彩的画面，成为人们生活、工作中接触到的各种电子屏幕。

铟、锡是靶材界的一对绝佳组合，ITO（铟锡氧化物）靶材在全球应用最为普遍。液晶电视、手机、电脑、车载显示屏、巨幅广告电子屏……人们日常看到的各类电子屏幕，用的几乎都是ITO透明导电薄膜。

2016年以前，ITO靶材一直被西方发达国家垄断。直到我市一家名不见经传的企业破解技术难题，实现国产ITO靶材批量供应，才直接引发海外ITO靶材降价20%以上。

一鸣惊人的背后，是十年的苦熬。5月28日，记者走进广西晶联光电材料有限责任公司（以下简称“晶联光电”），探秘这家国家级专精特新“小巨人”企业，如何以科技推动发展，让“中国靶材”点亮炫彩世界。

十年苦熬打破垄断

ITO靶材制造过程极为复杂，铟锭和锡盐作为两大原材料，需要经历层层工艺关卡，才能成为合格的ITO靶材。尤其是在关键的烧结环节，黄色的铟锡氧化物坯体需要在1600摄氏度的高温环境中待上约7天时间，才能蜕变为黑灰色的陶瓷半导体靶材。

“这个高温历练的过程，就像晶联光电发展的缩影。”晶联光电财务总监戴海剑打开了回忆的闸门——

广西被誉为“世界铟都”，全球近80%的高品质铟、锡来自中国。2000年前后，柳州冶炼产业十分兴盛，已拥有成熟的铟、锡产业，那为何不深加工ITO靶材，拥抱庞大的显示面板市场？

在这样的背景下，晶联光电于2007年成立了。但在很长一段时间里，国产ITO靶材品质不稳定，下游显示面板制造商只得依赖进口，受制于人。晶联光电也一直在“烧钱”攻关，几乎没有盈利。“当时十分艰苦，厂里常常弥漫着酸气，眼睛都睁不开。”戴海剑说。

在这样的环境下，晶联光电原董事长曾福祖、项目负责人黄誓成（现为晶联光电总经理）等人默默坚守、刻苦钻研、上下求索，终于在2015年获得了国内显示面板制造龙头企业京东方的产品测试认证机会。

又经历漫长、严苛的测试之后，2016年，晶联光电实现了京东方ITO靶材批量供应，行业其他显示面板制造商的订单也纷至沓来。

“这意味着，晶联光电实现重大技术突破，彻底打破了海外技术壁垒，为国产ITO靶材成功替代进口作出重大贡献，这也直接引发海外ITO靶材降价20%以上。”戴海剑激动地说道。

勇攀技术高峰解决“卡脖子”难题

2018年，《科技日报》曾推出系列报道，聚焦35项制约我国工业发展的“卡脖子”技术，大尺寸的ITO靶材制造技术便是其中之一。为何是大尺寸？

“ITO靶材交付后，需要通过磁控溅射的‘枪手’，不断‘射击’靶材，将靶材气化溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上，形成一层纳米级的ITO薄膜。”戴海剑说，ITO靶材的尺寸越大，制造技术难度越高，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。

这一年，峰回路转的晶联光电并未停止攀登技术高峰的脚步，决心继续攻关“卡脖子”技术难题，填补国内空白，向世界领先水平看齐。

晶联光电坚持将每年营收的10%投入到科研中，在纷繁复杂的技术、工艺中反复摸索，终于打通了工艺流程，解决了大尺寸难题。

晶联光电也因此获得2020年中国新型显示产业链“特殊贡献奖”，中国发明家论坛暨首届发明创业奖一等奖，2020年度广西科学技术奖科学技术进步类一等奖。

心怀科研初心迎接时代风口

再说回2016年，晶联光电虽然获得了高端面板行业“入场券”，也收获了隆华集团抛来的橄榄枝，被隆华集团战略性收购，开始从“小步奔跑”转向“大步跨越”。

2018年，实现批量供货后，2021年，晶联光电ITO靶材产量已突破100吨，达到国内第一。

2023年4月，晶联光电“年产500吨ITO靶材项目”在阳和工业新区开工，为“中国靶材”增添新动力。

“通过晶联光电，我们看到了柳州市良好的投资环境，这也是我们将项目落地柳州的重要原因。”隆华集团董事长李占强说，该项目投资4亿元，达产后年收入可超过8亿元。

当下，光伏产业正处在风口上，晶联光电又积极融入时代新浪潮，开启了与多家光伏企业合作的步伐。今年初，晶联光电与眉山琏升光伏科技有限公司签署战略合作协议，专攻第三代光伏技术——高效异质结（HJT）太阳能电池技术的研发升级。

黄誓成表示，目前晶联光电正专注研究超大尺寸TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）、OLED（有机发光半导体）屏以及异质结太阳能光伏电池用氧化铟锡靶材、IGZO（铟镓锌氧化物）靶材等高性能陶瓷靶材的开发和产业化，有望再打破技术垄断，进一步提升国产化占有率。

5月28日，记者跟随戴海剑，从老厂房一路采访到“年产500吨ITO靶材项目”的新基地。基地一期即将投产，晶联光电的员工正忙着搬迁，个个脸上洋溢着“开启新篇章，再大干一场”的风采。

记者手记：

作为国家级专精特新“小巨人”企业、广西工业龙头企业，晶联光电的发展，是一部民企群像故事的缩影。这其中有接力投资、实业报国的企业家，有不畏艰苦、默默科研的技术工程专家、科学家，也有始终护航企业发展的各级政府等。晶联光电的峰回路转、再攀高峰、迎新风口，也为广大民营企业树立了榜样，增添了信心。